Статья: ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ РЕЖИМОВ РАДИАЦИОННО-ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ НА ОСНОВЕ ОБЛУЧЕНИЯ ВЫСОКОЭНЕРГЕТИЧЕСКИМИ ЭЛЕКТРОНАМИ ДЛЯ ПОВЫШЕНИЯ РАДИАЦИОННОЙ СТОЙКОСТИ СУБМИКРОННЫХ МИКРОСХЕМ (2024)

Читать онлайн

Исследовано влияние радиационно-термической обработки на характеристики цифроаналогового преобразователя, изготовленного по технологическому процессу на основе комплементарных кремниевых структур металл-оксид-полупроводник с топологической нормой 0,35 мкм. Показано, что после проведения радиационно-термической обработки, включающей облучение электронами с энергией 6 МэВ дозой до 1000 кГр и термический отжиг облученных образцов при температуре 180 ◦ Св течение 2 ч, комплекс электрических параметров цифроаналогового преобразователя сохраняется в рамках технических условий. Реализация режимов радиационно-термической обработки при дозах облучения от 1000 до 3000 кГр приводит к постепенному уменьшению амплитуды напряжения выходного сигнала, увеличению тока утечки и потере работоспособности образцов. Полученные результаты могут быть использованы при разработке технологических процессов создания субмикронных сверхбольших интегральных схем на объемном кремнии с повышенной стойкостью к одиночным радиационным эффектам.

Ключевые фразы: радиационная стойкость, высокоэнергетичные протоны, тяжелые заряженные частицы, одиночные радиационные эффекты, интегральная микросхема, технология, центр рекомбинации, радиационно-термическая обработка, цифроаналоговый преобразователь
Автор (ы): Лагов Петр Борисович
Соавтор (ы): Мещеряков Александр Анатольевич, Дренин Андрей Сергеевич, Павлов Юрий Сергеевич, Романтеева Елена Петровна
Журнал: РАКЕТНО-КОСМИЧЕСКОЕ ПРИБОРОСТРОЕНИЕ И ИНФОРМАЦИОННЫЕ СИСТЕМЫ

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

УДК
621.3.049.774. Полупроводниковые интегральные схемы. Твердые схемы. Монолитные схемы
Для цитирования:
ЛАГОВ П. Б., МЕЩЕРЯКОВ А. А., ДРЕНИН А. С., ПАВЛОВ Ю. С., РОМАНТЕЕВА Е. П. ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ РЕЖИМОВ РАДИАЦИОННО-ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ НА ОСНОВЕ ОБЛУЧЕНИЯ ВЫСОКОЭНЕРГЕТИЧЕСКИМИ ЭЛЕКТРОНАМИ ДЛЯ ПОВЫШЕНИЯ РАДИАЦИОННОЙ СТОЙКОСТИ СУБМИКРОННЫХ МИКРОСХЕМ // РАКЕТНО-КОСМИЧЕСКОЕ ПРИБОРОСТРОЕНИЕ И ИНФОРМАЦИОННЫЕ СИСТЕМЫ. 2024. Т. 11 № 1
Текстовый фрагмент статьи