Статья: Устройство импульсно-периодического напуска газа с высокой частотой повторения импульсов (2025)

Читать онлайн

Представлен обзор наиболее распространенных в практике импульсно-периодических клапанов, используемых для газонапуска. Предложена простая конструкция клапана для импульсно-периодической подачи газа в вакуумные устройства. Клапан имеет цилиндрический исполнительный элемент со сквозными радиальными отверстиями. Принцип действия клапана основан на вращательном движении исполнительного элемента относительно выходного отверстия ресивера, заполненного рабочим газом. Массовый расход газа в импульсе, длительность и частота повторения импульсов напуска газа могут меняться в широких пределах. Устройство при работе не создает шума и электромагнитных помех. Важным достоинством предложенного устройства является его масштабируемость.

An overview of the most common pulse-periodic valves used for gas start-up is performed. A simple valve design for pulse-periodic gas supply to vacuum devices is proposed. The valve has a cylindrical actuator with through radial openings. The principle is based on the rotational movement of the actuator relative to the outlet of the receiver filled with work-ing gas. The mass flow rate of the gas in the pulse, its duration and frequency of repetition of the gas intake pulses can vary widely. The device does not cause electromagnetic inter-ference during operation. An important advantage of the proposed device is its scalability.

Ключевые фразы: газовый клапан, импульсно-периодический режим, ресурс работы
Автор (ы): Акишев Юрий Семенович
Журнал: Успехи прикладной физики

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

УДК
53.072. Модели
Префикс DOI
10.51368/2307-4469-2025-13-4-339-351
Для цитирования:
АКИШЕВ Ю. С. УСТРОЙСТВО ИМПУЛЬСНО-ПЕРИОДИЧЕСКОГО НАПУСКА ГАЗА С ВЫСОКОЙ ЧАСТОТОЙ ПОВТОРЕНИЯ ИМПУЛЬСОВ // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2025. ТОМ13 №4
Текстовый фрагмент статьи