SciNetwork

Ключевая фраза: monosilane

Ниже приведен список материалов, найденных в базе данных SciNetwork, с ключевым словом «monosilane».
Статьи: 1
01.Получение поликристаллического кремния из моносилана газоструйным плазмохимическим методом. Моделирование и эксперимент (2022)
Сохранить в закладках
Журнал:
Прикладная физика
Автор(ы):
Константинов В. О., Щукин В. Г., Шарафутдинов Р. Г.
SciNetwork