SciNetwork

Ключевая фраза: фторидная плазма

Ниже приведен список материалов, найденных в базе данных SciNetwork, с ключевым словом «фторидная плазма».
Статьи: 1
01.Применение фторидной плазмы для формирования наноразмерных структур на поверхности кремния (2022)
Сохранить в закладках
Журнал:
Прикладная физика
Автор(ы):
Климин В. С., Саенко А. В., Кесслер И. О., Морозова Ю. В., Вакулов З. Е., Агеев О. А.
SciNetwork