Книга: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях

Скачать

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии
и оборудования.

Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Информация о документе

Формат документа: PDF
Кол-во страниц: 285 страниц
Загрузил(а): Кутукова Арина
Лицензия: —
Доступ: Всем

Информация о книге

ISBN: 9785996321292
Издательство: БИНОМ
Год публикации: 2013
Автор(ы): Галперин В. А.
Ключевые фразы: плазменное травление, НАНОТЕХНОЛОГИИ, плазменные технологии, анизотропность процессов впт, селективность, впт, масс-спектроскопия, эмиссионная спектроскопия, МИКРОСКОПИЯ, зондовые измерения
Каталог SCI: Нанотехнология
ББК: 22.333. Электронные и ионные явления. Физика плазмы
32.844. Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)
34.96. Технология приборостроения
УДК: 533.9. Физика плазмы
621.38. Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы, трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц

Статистика просмотров

Статистика просмотров книги за 2025 год.

Все права на тексты и товарные знаки принадлежат их законным владельцам. Подробнее...

Сайт https://scinetwork.ru (далее – Сайт) представляет собой платформу, на которой пользователи самостоятельно добавляют и публикуют метаинформацию о материалах разных видов (названия, обложки, аннотации, данные об авторах и т.п.). Администрация Сайта не занимается самостоятельным сбором или первоначальной публикацией этих сведений.

Модерация контента

На Сайте действует постмодерация. Это означает, что материалы, добавляемые пользователями, становятся общедоступными сразу после публикации и проверяются Администрацией Сайта постфактум в разумные сроки.

Использование информации

Администрация Сайта не использует метаданные и обложки документов в коммерческих или рекламных целях для продвижения товаров или услуг и не заявляет о каких-либо правах на представленные объекты интеллектуальной собственности. Все права на документы и сопутствующие материалы принадлежат их законным правообладателям.

Отказ от гарантий

Администрация Сайта не гарантирует точность, полноту и достоверность метаинформации, размещенной пользователями, поскольку не осуществляет ее предварительную проверку.

Ответственность

Сайт носит исключительно информационно-справочный характер. Администрация Сайта не несет ответственности за содержание и достоверность информации, добавленной пользователями, а также за любые убытки, возникшие в связи с использованием или невозможностью использования Сайта и размещенной на нем информации.