Ключевая фраза: анизотропность процессов впт

Ниже приведен список материалов, найденных в базе данных SciNetwork, с ключевым словом «анизотропность процессов впт».

SCI Библиотека: 1

01.Книга: Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях (2013)

Автор(ы):

Галперин В. А.