Результаты поиска: 1 док. (сбросить фильтры)
Статья: СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП ВЕГА - СИСТЕМА ДЛЯ РЕШЕНИЯ ЗАДАЧ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ
Изложены возможности нового прибора разработки Компании ООО «НТ-МДТ» - сканирующего зондового микроскопа «ВЕГА», способного работать с образцами размером до 200х200х40 мм с предельным для атомно-силовой микроскопии разрешением для исследования свойств и метрологического контроля поверхностных наноструктур микро и наноэлектроники.