Параметры и свойства электроизоляционного покрытия окиси алюминия, осажденного на металле форвакуумным источником (2020)

Представлены результаты исследований, направленные на решение проблемы создания диэлектрических покрытий на поверхности проводников для придания им электроизоляционных свойств. Для создания покрытий применялось электронно-лучевое испарение керамики с помощью форвакуумного плазменного источника электронов. Измерены относительная диэлектрическая проницаемость, тангенс угла диэлектрических потерь, полное сопротивление осажденного электроизоляционного покрытия.

Издание: Прикладная физика
Выпуск: №2 (2020)
Автор(ы): Юшков Юрий Георгиевич, Бурачевский Юрий Александрович, Золотухин Денис Борисович, Окс Ефим, Тюньков Андрей Владимирович, Юшков Анатолий Юрьевич
Сохранить в закладках
Генерация плазмы при ионизации газа электронными источниками в диапазоне давлений 1–100 Па (обзор) (2019)

В статье приведен обзор последних достижений в области генерации и исследования пучковой плазмы, получаемой при ионизации газа стационарным низкоэнергетичным пучком электронов в форвакуумном диапазоне давлений (1–100 Па). Представлены особенности взаимодействия стационарного электронного пучка c создаваемой им плазмой при его транспортировке в вакуумной камере большого объема, а также результаты исследования параметров плазмы, создаваемой при инжекции электронного пучка в сосуд с диэлектрическими стенками. Показано, что в зависимости от параметров электронного пучка, давления и рода газа возможно создание условий коллективного взаимодействия с зажиганием пучково-плазменного разряда, отличающегося повышенным значением концентрации и температуры плазменных электронов.

Издание: Успехи прикладной физики
Выпуск: Том 7, № 3 (2019)
Автор(ы): Климов Александр Сергеевич, Зенин Алексей Александрович, Золотухин Денис Борисович, Тюньков Андрей Владимирович, Юшков Юрий Георгиевич
Сохранить в закладках
Соотношение ионного и атомного компонентов бора в процессе формирования покрытия методами магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения (2022)

Предложен метод экспериментального определения соотношения ионного и атомного компонентов бора в процессе формирования покрытия магнетронным распылением и электронно-лучевым испарением. Метод основан на сравнительном анализе приращения веса подложек оригинальных конденсационных зондов с поперечным магнитным полем и без него. Установлено, что при электронно-лучевом испарении определяющий вклад в формирование покрытия вносит ионная составляющая, а при магнетронном распылении – атомная. На основании оценки каждого из этих вкладов определено отношение концентрации атомарного и ионизованного компонентов бора в плазме электронного пучка и в плазме магнетронного разряда.

Издание: Прикладная физика
Выпуск: № 4 (2022)
Автор(ы): Юшков Георгий Юрьевич, Юшков Юрий Георгиевич, Окс Ефим, Тюньков Андрей Владимирович
Сохранить в закладках
Электронно-лучевое осаждение покрытий из циркониевой керамики форвакуумным плазменным источником электронов (2023)

Представлены результаты эксперимента по электронно-лучевому осаждению керамических покрытий оксида циркония, стабилизированного оксидом иттрия с использованием форвакуумного плазменного источника электронов. Методом растровой электронной микроскопии получены данные о морфологии и элементном анализе поверхности покрытий. Структурно-фазовый состав образцов выявил наличие кристаллической структуры синтезированных покрытий с содержанием моноклинной и тетрагональной фаз. Методом Оливера-Фарра получены значения твердости и моду-ля упругости покрытий.

Издание: Прикладная физика
Выпуск: № 5 (2023)
Автор(ы): Андронов Артем Андреевич, Золотухин Денис Борисович, Назаров Алмаз Юнирович, Окс Ефим, Рамазанов Камиль Нуруллаевич, Тюньков Андрей Владимирович, Юшков Юрий Георгиевич
Сохранить в закладках
О влиянии подслоя хрома на магнитные свойства магнито-диэлектрических покрытий на основе никеля и оксида алюминия при их осаждении в форвакуумной области давлений (2023)

Приводятся результаты исследования влияния подслоя хрома на магнитные свойства (эффективную намагниченность насыщения) магнито-диэлектрических покрытий, состоящих из тонких (1,2–1,8 мкм) слоев магнитных металлов (никеля, железа) и алюмооксидной керамики, и получаемых при испарении мишеней электронным пучком в форвакуумном диапазоне (5–8 Па) давлений гелия. Обнаружено, что добавление подслоя хрома ухудшает магнитные свойства пленок, поэтому синтез магнито-диэлектрических покрытий в описанных условиях целесообразно осуществлять без такого подслоя.

Издание: Прикладная физика
Выпуск: №3 (2023)
Автор(ы): Золотухин Денис Борисович, Тюньков Андрей Владимирович, Фролова Валерия Петровна, Юшков Юрий Георгиевич
Сохранить в закладках
Электронно-лучевое осаждение тонкопленочного магнито-диэлектрического покрытия на основе железа и алюмооксидной керамики форвакуумным плазменным источником электронов (2023)

Описаны результаты эксперимента по осаждению тонкопленочного магнито-диэлектрического покрытия при последовательном электронно-лучевом испарении в гелии и кислороде форвакуумного диапазона давлений (5 Па) мишени из стали и алюмооксидной керамики. Методом ферромагнитного резонанса продемонстрировано наличие у покрытия магнитных свойств, рентгенографическое исследование под-твердило наличие в покрытии магнитного оксида Fe3O4, а измеренные оптическим профилометром толщины покрытий составили 3–6 мкм.

Издание: Прикладная физика
Выпуск: №1 (2023)
Автор(ы): Золотухин Денис Борисович, Фролова Валерия Петровна, Тюньков Андрей Владимирович, Юшков Юрий Георгиевич
Сохранить в закладках