Структура и свойства тонких пленок оксида индий-олово, полученных методом реактивного магнетронного распыления (2020)

Исследованы электрофизические характеристики наноразмерных пленок оксида индий-олово (ITO), полученных методом реактивного магнетронного распыления мишени In/Sn в кислородосодержащей среде. Приведены результаты исследования изменения электропроводности пленок ITO в широком интервале температур и частот. Определены значения концентрации основных носителей заряда, их подвижности и положение уровня Ферми. Исследованы оптические свойства пленок в широком диапазоне длин волн.

Издание: Прикладная физика
Выпуск: №2 (2020)
Автор(ы): Жидик Юрий, Иванова Анна, Жидик Екатерина Вячеславовна, Петрюк Алёна Евгеньевна
Сохранить в закладках
Исследование чувствительности тонких пленок ITO к адсорбированным на их поверхности химическим веществам (2023)

Приведены результаты исследований чувствительности тонких пленок из оксидов индия-олова (ITO) к адсорбированным на их поверхности углеводородам различных концентраций. Показано, что тонкие низкоомные пленки ITO могут многократно ис-пользоваться в качестве детекторов газов, а их чувствительность на детектируемые газы практически не зависит от температуры нагрева структуры. Обнаружено, что дополнительное облучение газовых сенсоров на основе пленок ITO УФ-излучением спо-собствует значительному повышению их чувствительности к адсорбирующимся ве-ществам.

Издание: Прикладная физика
Выпуск: № 6 (2023)
Автор(ы): Жидик Юрий, Жук Клавдия, Иванова Анна, Мостовщиков Андрей, Майкова Анастасия Владимировна1, Кузьмин Александр Сергеевич
Сохранить в закладках